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半導體行業(yè)景氣度依舊火熱，缺芯問題仍在延續(xù)。鴻海、中芯國際、瑞薩等多家廠商預計芯片短缺問題將至少在2022年中開始緩解，英特爾、意法半導體則認為芯片短缺問題將持續(xù)至2023年。

晶圓廠正在大舉擴產(chǎn)。國內(nèi)方面，中芯國際、華虹集團、青島芯恩、長江存儲、合肥長鑫、華潤微、士蘭微等未來幾年都將大規(guī)模擴充產(chǎn)能。

晶圓廠擴產(chǎn)帶來了大量半導體設(shè)備需求。數(shù)據(jù)顯示，晶圓制造設(shè)備占半導體設(shè)備市場的80%，占據(jù)晶圓制造產(chǎn)線投資的80%。在晶圓廠積極擴產(chǎn)的背景下，半導體設(shè)備需求旺盛。半導體設(shè)備交期不斷延長。

不過，目前半導體設(shè)備市場主要由美國、日本廠商主導，我國半導體設(shè)備國產(chǎn)化率僅在10%-20%左右。隨著半導體設(shè)備國產(chǎn)化訴求逐步增強，中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、聞泰科技等國內(nèi)晶圓廠在新增產(chǎn)能建設(shè)過程中積極導入國產(chǎn)設(shè)備，極大拉動國內(nèi)半導體設(shè)備需求。

根據(jù)通聯(lián)數(shù)據(jù)Datayes！，2018-2020年中國半導體設(shè)備出貨金額分別為131億、134.5億、187.3億美元，2021年上半年，這一數(shù)字達到141.8億美元。

11月4日，第一財經(jīng)走訪國內(nèi)半導體濕法設(shè)備龍頭至純科技（603690.SH）上?？偛?，與至純科技董事長蔣淵就公司業(yè)務發(fā)展等問題進行交流。

半導體濕法設(shè)備累計訂單超160臺

至純科技2000年成立，從高純工藝系統(tǒng)起步，逐步拓展了BU1-5五個事業(yè)部，分別開展?jié)穹ㄔO(shè)備/晶圓再生、高純工藝系統(tǒng)、先進工藝材料、生物制藥工藝、光傳感及光器件業(yè)務。

2020年年報顯示，公司高純工藝集成系統(tǒng)、半導體設(shè)備和光傳感及光器件的營收分別為8.63億、2.18億、3.15億元，收入占比分別為61.79%、15.59%、22.52%。其中光傳感及光器件毛利率水平最高，達到55.33%。

至純科技提供的濕法設(shè)備包含濕法槽式清洗設(shè)備及濕法單片式清洗設(shè)備，主要應用于集成電路、微機電系統(tǒng)、平板顯示等領(lǐng)域。

“在國產(chǎn)化的政策紅利之下，用戶正比以往任何時候都推動使用本土的設(shè)備。”蔣淵對第一財經(jīng)表示，現(xiàn)在真正被用戶認可的半導體設(shè)備廠都是不缺訂單的，主要的瓶頸在于產(chǎn)能。

目前全球市場主要的濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主，國內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美半導體。國內(nèi)廠商的市場占比逐年上升，當前濕法清洗設(shè)備國產(chǎn)化率約達20%。至純科技是國內(nèi)能提供到28納米節(jié)點全部濕法工藝設(shè)備的本土供應商。

據(jù)了解，濕法設(shè)備國內(nèi)每年的市場需求大約在15億-22億美元。“今年至純科技濕法設(shè)備營收目標超過一億美元。”

2020年，至純科技單片濕法設(shè)備和槽式濕法設(shè)備全年出機超過了30臺，較2019年增長50%。同時單片式濕法設(shè)備新增訂單金額超過3.6億元，同比增長112%。產(chǎn)品覆蓋28nm以上全部制程節(jié)點。

“28納米全部工藝我們都拿到了訂單，今年12月預計能夠全部交付客戶。”蔣淵對第一財經(jīng)表示，“今年四季度預計能夠確認收入。14-7nm也拿到了4臺訂單。”

至純科技從2015年開始做濕法設(shè)備，2017年將濕法設(shè)備作為單獨的BU開始運行。“2015年至今約七年的時間里，我們已經(jīng)拿到超160臺訂單了。”蔣淵對第一財經(jīng)表示，“現(xiàn)在已經(jīng)不止這個數(shù)字了。”

近日，在濕法設(shè)備已耕耘十幾年的盛美半導體在其官方公眾號上表示，10月18日盛美半導體濕法設(shè)備2000腔順利交付，累計出貨超過300臺設(shè)備。

產(chǎn)能方面，至純科技的半導體濕法設(shè)備主要由至純?nèi)毡九c江蘇啟東兩地開展。江蘇啟東廠區(qū)目前仍處于產(chǎn)能爬坡階段，計劃達產(chǎn)后產(chǎn)能為年產(chǎn)96臺。

客戶方面，目前至純科技濕法設(shè)備主要客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、華潤、燕東、臺灣力晶等。

“在供應鏈方面，我們也在多備一些庫存。我們的設(shè)備明年底零部件的國產(chǎn)化率預計在80%左右。”

“我們非常在意單個用戶的復購”

晶圓再生業(yè)務是濕法工藝的延伸，主要用于測試片晶圓的重復利用。伴隨硅片用量的持續(xù)增長和價格上漲，晶圓再生需求旺盛。而當前國內(nèi)供應商份額不足10%。至純合肥工廠是中國首個量產(chǎn)12英寸再生晶圓的工廠，建成后預計將形成年產(chǎn)168萬片的晶圓再生產(chǎn)能。

“晶圓再生的產(chǎn)能還在慢慢爬坡，今年7月開始量產(chǎn)，今年預計能有兩個月的產(chǎn)能，11月份開始形成收入。”蔣淵表示，晶圓再生業(yè)務和腔體再生業(yè)務均達產(chǎn)后，年產(chǎn)值預計能夠達到6億元。

高純工藝系統(tǒng)是晶圓廠建設(shè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施，承擔化學品儲存和輸送的作用，約占晶圓廠建廠成本的8%。泛半導體領(lǐng)域的面板、光伏、LED，以及光纖、生物制藥等行業(yè)亦有廣泛的高純工藝系統(tǒng)需求。

目前，高純工藝系統(tǒng)業(yè)內(nèi)龍頭主要為美、日廠商等，國內(nèi)廠商起步較晚。

2020年，至純科技系統(tǒng)業(yè)務收入8.63億元，毛利率為31.76%，并擁有上海華力、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微、西安三星、無錫海力士等眾多行業(yè)一線客戶，2020年所有核心客戶均給予了持續(xù)的重復訂單。

“我們至純非常在意單個用戶的復購，高純工藝系統(tǒng)我們已經(jīng)有大量的用戶復購。濕法設(shè)備雖然起步晚，但基于一貫的至純的務實專業(yè)的作風，也在往這個趨勢去；我們特別關(guān)注單個用戶全線購買至純的濕法設(shè)備。”蔣淵表示，目前有兩個芯片制造廠的新線中濕法設(shè)備大部分購買了至純的設(shè)備，有少量幾臺購買了日本廠商的。

此外，2018年至純科技收購波匯科技100%股權(quán)進入光傳感領(lǐng)域。

據(jù)中國電子元件行業(yè)協(xié)會信息中心的數(shù)據(jù)，中國光傳感器市場規(guī)模達778億元，約占全球市場規(guī)模的57%，預計到2020年將達到1180億元，占比進一步上升至64%。

“布局光電子領(lǐng)域，主要是出于平滑周期的考慮。”蔣淵對第一財經(jīng)表示，“半導體雖然近年來發(fā)展得非?？欤撬€是一個周期性行業(yè)，只是這次是一個長周期，可能還有8-10年的高增長期。但我們不能把所有的業(yè)務都放在半導體上。而光傳感領(lǐng)域和高純工藝系統(tǒng)有很好的協(xié)同作用，本身作為下游又有自己廣闊的發(fā)展空間。”

研發(fā)方面，至純科技研發(fā)投入總額占營業(yè)收入比例為10.76%，與國內(nèi)半導體設(shè)備龍頭企業(yè)中微公司（28.14%）、北方華創(chuàng)（26.56%）相比，研發(fā)投入力度較小。對此，蔣淵表示，“至純將資源盡量傾斜在濕法設(shè)備中。我們投入的都是自有資金，未來研發(fā)力度會隨著我們資源變多而加大。未來也會和我們的用戶一起做研發(fā)。”

10月18日晚，至純科技披露，公司控股子公司至微科技擬通過增資擴股引入戰(zhàn)略投資者并進行部分股權(quán)轉(zhuǎn)讓，本次增資方包括大基金二期及其相關(guān)基金。

“不光是大基金，中芯聚源也投了我們。這意味著中芯的核心產(chǎn)業(yè)鏈也會和我們有很多合作機會。”蔣淵表示。