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中國半導(dǎo)體材料市場一直穩(wěn)步成長，已在2020年成為全球第二大半導(dǎo)體材料市場，SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）預(yù)計(jì)，中國將在2021年維持這一市場地位。

SEMI 數(shù)據(jù)顯示，2019年中國半導(dǎo)體材料市場增長為3.4%至87.2億美元，2020年增長12%至97.6億美元，市場規(guī)模創(chuàng)歷史新高。

具體來看，半導(dǎo)體材料主要分為晶圓制造材料和封裝材料兩大類，晶圓制造材料主要分為硅片及硅基材料、光掩模版、電子氣體、光刻膠及試劑、CMP拋光材料、工藝化學(xué)品、靶材及其他。

SEMI最新報(bào)告顯示，2020年，晶圓制造材料市場規(guī)模為349億美元，較2019年增長6.5%，約占半導(dǎo)體材料整體規(guī)模的63%，其中光刻膠及試劑、工藝化學(xué)品和CMP拋光材料增長最為強(qiáng)勁。

9月27日，第一財(cái)經(jīng)走訪國家工信部第一批“專精特新”小巨人企業(yè)上海新陽（300236.SZ），就公司半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)的發(fā)展規(guī)劃等內(nèi)容進(jìn)行對(duì)話。

氮化硅蝕刻液打破壟斷實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化銷售

上海新陽主要從事兩類業(yè)務(wù)：一類是集成電路制造及先進(jìn)封裝用關(guān)鍵工藝材料及配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，并為客戶提供整體化解決方案；另一類是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)，并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務(wù)解決方案。2020年，上海新陽半導(dǎo)體行業(yè)營收占比47.13%，涂料行業(yè)營收占比52.87%。

前者主要包括芯片銅互連超純電鍍液與添加劑、氮化硅蝕刻液、干法蝕刻后清洗液、高端光刻膠、CMP拋光液、半導(dǎo)體封裝引線腳溢料去除技術(shù)、半導(dǎo)體配套設(shè)備產(chǎn)品等，后者包括氟碳涂料產(chǎn)品系列等。

具體來看，芯片銅互連超純電鍍液與添加劑方面，上海新陽是國內(nèi)第一家，也是目前唯一一家能夠提供滿足晶圓銅制程90-14nm全技術(shù)節(jié)點(diǎn)超高純銅電鍍液及添加劑的本土企業(yè)。

高選擇比氮化硅蝕刻液是3D NAND存儲(chǔ)器生產(chǎn)的關(guān)鍵性材料，制約著整個(gè)高端3D NAND技術(shù)的發(fā)展。今年上半年，上海新陽用于存儲(chǔ)器芯片的原創(chuàng)新產(chǎn)品氮化硅蝕刻液打破國外巨頭壟斷，順利通過客戶驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化銷售。上半年公司該產(chǎn)品累計(jì)收到訂單3000余萬元，實(shí)現(xiàn)銷售1350余萬元。

“氮化硅蝕刻液是我們和客戶聯(lián)合開發(fā)的原創(chuàng)產(chǎn)品，全球現(xiàn)在只有兩家公司可以做，我們是第三家。” 上海新陽董秘李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，氮化硅蝕刻液對(duì)3D NAND存儲(chǔ)器的產(chǎn)品良率有重大影響，而且用量很大。“現(xiàn)在該客戶128層產(chǎn)品逐步量產(chǎn)，月產(chǎn)量只有幾萬片，年底預(yù)計(jì)能達(dá)到4萬片，但我們目前已經(jīng)可以做到超3000萬元的營收，如果按照客戶未來滿產(chǎn)去看，我們初步測算大概有8億~10億元的市場空間，這還是僅僅考慮一家客戶的情況。”

CMP拋光材料目前的國產(chǎn)化率約10%~15%，還存在80%以上的國產(chǎn)替代空間。上海新陽目前只涉及拋光液業(yè)務(wù)。“現(xiàn)在有一款拋光液產(chǎn)品剛剛通過了客戶驗(yàn)證，產(chǎn)業(yè)化其實(shí)就是時(shí)間的問題。”李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示。

目前，上海新陽被國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線認(rèn)定為Baseline（基準(zhǔn)線/基準(zhǔn)材料）的數(shù)量已超30條，干法蝕刻后清洗液已經(jīng)實(shí)現(xiàn)28nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)全覆蓋，20-14nm電鍍液已完成量產(chǎn)測試，實(shí)現(xiàn)銷售。

2021年上半年，公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入4.37億元，同比增長45.78%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤1.08億元，同比增長316.82%；扣非凈利潤為4461.93萬元，同比增長76.42%，主要是報(bào)告期內(nèi)公司晶圓制造用電鍍液及清洗液等超純化學(xué)產(chǎn)品營業(yè)收入大幅增長。

“客戶進(jìn)口只能購買產(chǎn)品，而我們不單單是賣單一材料給客戶，我們是配合客戶工藝的需求，提供給客戶材料配套設(shè)備和現(xiàn)場服務(wù)一套整體解決方案。這也是我們有別于進(jìn)口產(chǎn)品的特點(diǎn)。”李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示。

關(guān)于現(xiàn)場解決問題的能力，李昊舉例稱，“在這一方面，我們和產(chǎn)品使用方的聯(lián)系更為緊密，響應(yīng)速度和服務(wù)能力更強(qiáng)更快，我們賣的不僅僅是標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品，更多的是配合客戶的需求共同進(jìn)行產(chǎn)品的開發(fā)，能夠根據(jù)客戶的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)環(huán)境給客戶提供現(xiàn)場改進(jìn)方案，包括調(diào)整產(chǎn)品配方等工藝手段，從而保證客戶最終的產(chǎn)品良率，這樣客戶既提高了效率也節(jié)約了成本。”

未來十年重點(diǎn)突破光刻膠業(yè)務(wù)

近期，上海新陽的光刻膠項(xiàng)目取得重大突破，將為接下來的業(yè)績增長貢獻(xiàn)動(dòng)能。

6月30日，上海新陽公告稱，其自主研發(fā)的KrF光刻膠產(chǎn)品已通過客戶認(rèn)證，并成功取得訂單。

“光刻膠的全系列產(chǎn)品是我們未來十年要重點(diǎn)突破的業(yè)務(wù)。”李昊表示，“我們光刻膠產(chǎn)品包括I線膠、KrF膠、ArF干法和ArF濕法膠，EUV光刻膠也已經(jīng)在和國外團(tuán)隊(duì)做前端研發(fā)?；旧先奉惖墓饪棠z產(chǎn)品和配套材料我們都在推進(jìn)，未來光刻技術(shù)將成為我們第三大核心技術(shù)。”

按照上海新陽的規(guī)劃，部分光刻膠主流客戶關(guān)鍵產(chǎn)線認(rèn)證將在今年年底完成，明年上半年有望進(jìn)入實(shí)質(zhì)銷售階段。

產(chǎn)能方面，上海兩條產(chǎn)線的產(chǎn)能在50噸左右。此外，上海新陽合肥廠在建，近期規(guī)劃KrF光刻膠產(chǎn)能300噸，遠(yuǎn)期規(guī)劃500噸。“順利的話，明年上半年合肥廠能夠投產(chǎn)。”李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)透露。

這四大類半導(dǎo)體材料（芯片銅互連超純電鍍液與添加劑、清洗液（含氮化硅蝕刻液）、CMP拋光液、光刻膠）目前國內(nèi)的市場規(guī)模約100億元，預(yù)計(jì)3~5年內(nèi)能夠翻倍，按照10%的國產(chǎn)化率測算，國內(nèi)企業(yè)的市場空間天花板3~5年約20億元。不過，目前能夠真正進(jìn)入產(chǎn)品序列的國內(nèi)公司也屈指可數(shù)，上海新陽仍有可開拓的空間。

“我們現(xiàn)在的目標(biāo)是將這四大類半導(dǎo)體材料三年?duì)I收做到10億元，今年預(yù)計(jì)超4.5億元，到2023年我們希望突破10億元。中長期看，在整個(gè)200億元的市場里面，我們希望第一階段能做到30億元左右的規(guī)模。這是根據(jù)我們現(xiàn)在已經(jīng)覆蓋的客戶和我們覆蓋的產(chǎn)品，去認(rèn)真測算的量。”李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示。

客戶方面，如前文所述，上海新陽是國內(nèi)唯一一家能夠提供滿足晶圓銅制程90-14nm全技術(shù)節(jié)點(diǎn)超高純銅電鍍液及添加劑的本土企業(yè)，而14nm已經(jīng)是國內(nèi)最先進(jìn)的制程。“目前國內(nèi)主要的Fab廠和封裝廠我們基本上全部覆蓋，包括一些合資企業(yè)，如海力士無錫工廠、英特爾大連等。隨著我們新產(chǎn)品不斷放量，第一大客戶已經(jīng)從原來的封裝企業(yè)變?yōu)榱司A制造企業(yè)。”

研發(fā)方面，2020年，上海新陽研發(fā)投入總額8027.46萬元，占本期營業(yè)收入的比重為11.57%，其中半導(dǎo)體業(yè)務(wù)研發(fā)投入占半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的比重為20.60%。今年上半年，公司研發(fā)投入總額7653.95萬元，占本期營業(yè)收入的比重為17.50%，其中半導(dǎo)體業(yè)務(wù)研發(fā)投入占半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營收的比重為32.54%。

“我們預(yù)計(jì)今年是一點(diǎn)幾個(gè)億的研發(fā)投入。我們今年會(huì)做一些資本化，因?yàn)楣镜慕?jīng)營業(yè)績壓力太大了，每年這么大量的研發(fā)投入都是費(fèi)用化，吃掉的都是我們的凈利潤。”李昊對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，但是這幾年整體的研發(fā)投入會(huì)比較高，2022~2023年都是高研發(fā)投入的階段，但是到后面會(huì)逐步降下來。

上海新陽10月14日公告，預(yù)計(jì)第三季度虧損1800萬-2500萬元，上年同期盈利1.5億元；由于公司開展光刻膠項(xiàng)目和參與國家重大科技項(xiàng)目，研發(fā)投入持續(xù)加大，研發(fā)費(fèi)用增加明顯。

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